投資名古屋大學創業公司Photo electron Soul，加強半導體檢測業務

Ushio Inc.（總部：東京，總裁兼執行官：Koji Naito，以下簡稱“Ushio"）特此宣布，我們已投資擁有下一代電子束生成技術的Photo electron Soul Inc.（執行官：鈴木孝之，以下簡稱“PeS"），并簽署了安裝在電子束半導體晶圓圖案檢測設備中的半導體光電陰極單電子束生成系統（該系統）的代理協議。

PeS是名古屋大學成立于2015年的初創公司，是世界上一家成功開發創新工業半導體光電陰極電子束系統的公司。采用半導體光電陰極技術的電子束*1PeS旗下作為明亮光源或加工工具備受關注，有望用于半導體檢測、電子顯微鏡和3D打印等應用。

檢測時間長導致產量低，檢測精度低導致良率低，這些都是挑戰，特別是在半導體制造工藝的檢測中，近年來小型化和多層化的進步令人矚目。為了應對這些挑戰，Ushio專注于PeS擁有的這個系統，這一次，我們投資并獲得了銷售權。因此，從今年1月起，我們利用牛尾的半導體檢查設備光源全球銷售渠道和各種半導體制造設備的全球維護系統，開始針對半導體制造檢查設備制造商和半導體設備制造商的銷售活動。

Ushio將繼續通過我們的光技術，提供克服工業流程技術創新瓶頸的光解決方案，包括推進半導體小型化，為創造一個方便舒適的社會做出貢獻。

*<> 電子束生成技術之一，通過照射材料上的光來利用光能提取電子束。

■半導體光電陰極電子束（圖）

通過照射激光在半導體光電陰極上產生電子束
■PeS電子束的主要特點 ?亮度是傳統熱場發射電子束的十倍以上

?數字選擇性電子束TM系列（DSeB） 函數*2
?多可變形電子束
?即使在長時間運行中也能保持高正常運行時間和出色的輸出穩定性 

*2：快速激光開/關功能，可在特定區域在電子束照射和非照射之間切換。